氣體質量流量控制器

易度智能氣體質量流量控制器【簡稱MFC】基于內部補償型*層流壓差技術，內置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異，通過精密電磁比例調節閥自動控制氣體流量，從而提供更加準確和穩定的流量測量和控制。層流質量流量控制器可作為主要設備在高?？蒲性核蛷V泛的工業過程自動化控制中使用。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點擊輸入設定流量，或者提供上位機軟件設定流量。

l 核心優勢：高精度、高重復性、快速響應

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內

l 實時顯示4種過程變量

l 內置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無需查找、輸入系數，并可自主編輯混合氣體

l 無需預熱時間，開機即可使用，即插即用。

l 可切換為流量計模式使用

產品規格：

l 產品型號：

SC系列-帶觸摸屏系列控制器，可觸屏操作讀取數據，方便工況現場使用，無需電腦，像手機一樣方便。

MC系列：無屏幕系列控制器，可通過上位機軟件設定流量、讀取數據，適用配套用戶，軟件可同時測控16臺流量計或控制器。

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

l 閥門種類：N/C（常閉型）

性能參數：

l 精度：±1.0%S.P.  , ± 0.5%S.P.

l 重復精度：±0.2%F.S.    ±0.1%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度20℃）

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應時間：≤700ms.

l 啟動預熱時間：1s

使用條件：

l 介質溫度：-20℃~60℃

l 環境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~700kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質：SUS304，SUS316L

l 進出口：管螺紋（內螺紋）

l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應用場景

l 配套流量校準平臺的流量控制設備

l 實驗中的氣體流量控制

l 機械動力測試系統中的氣體流量控制

l 材料制備實驗中的中的氣體流量控制

l 真空實驗艙及真空試驗系統中的氣體流量控制

l 生物反應器實驗裝置中的氣體流量控制

l 高精度實驗儀器的研發和試制

l 分析測試儀器

易度智能層流壓差式氣體質量流量控制器通用于工業配套、高校研究院所實驗室等氣體流量測控領域。