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易度智能高可靠性質量流量控制器采用內部補償型層流壓差技術,可從根本上抑制MFC的零漂、溫漂、壓漂現象,流體在寬流量范圍內仍舊保持層流運動,內置壓力傳感器和溫度傳感器,能充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異。
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